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详细介绍
在线片式真空等离子清洗机产品参数：
| 电源系统 | 功率 | F13.56MHz 0-600W （射频电源） |
| 真空系统 | 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
| 材质 | 铝合金 | |
| 密封性 | 一体成型 | |
| 腔体体积 | 6L | |
| 适用产品尺寸 | 180-280mmX25-90mm(长x宽) | |
| 适用料盒尺寸 | 180-290mmX25*93X250mm(长X宽X高) | |
| 通道数量 | 标准4条（可定制） | |
| 电极板大小 | 340x500mm | |
| 等离子激发时间 | 等离子激发清洗时间 | 5Sec |
| 产量 | UPH | 480（蛇皮时间10S，4条流道时） |
| 清洗能力 | 水滴角 | 水滴角测试＜12° |
| 流量范围 | 0-300SCCM | |
| 工艺气体 | 标配2路，可定制 氩气： 3bars 1L/min 氮气 : 3bars 1L/min | |
| 其它参数 | 电源 | AC 380V 5.5KW |
| 外形尺寸 | 1600mmX1200x1600 |
在线片式真空等离子的产品特点：
1、轨道宽度可调，可选择同时清洗四种不同宽度的产品；
2 、片式清洗，清洗效果更明显；
3 、单边上下料结构，无需更换料盒，清洗后的产品自动回到原来的料盒，杜绝混批；
4、 双清洗托盘，一个清洗的同时另一个备料，提高生产效率；
5 、一键更换产品，设备所有参数及设置自动加载，无需人工设定；
6、手动清洗与自动清洗均一键操作，操作使用更简单；
7、 产品安全多重设计，确保不会造成产品变形损坏；
8 、四条通道每个地方独立检测，准确判断问题所在；
9 、设备安全多重设计，确保人身安全；
10、 模块化设计，国际品牌配置，确保设备稳定运行。
在线片式真空等离子清洗机具有成本较低、容易使用、维护及保养费用低、环保等优点，可应用于芯片粘结工艺前、引线键合和覆晶封装工艺前的表面处理。与传统独立式的等离子清洗机相比，在线片式真空等离子清洗机具有自动化程度高、清洗效率高、设备洁净度高、适应范围广等优点，适用于大规模全自动化生产。
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