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详细介绍
10L射频高配版参数：TS-PL10MA/P
1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L200mm*W270mm*H200mm
2.电极：平板气浴电极，材质6061-T6铝合金
功率电极：1
接地电极：1
3.电极尺寸：180mm *230mm（可处理产品尺寸规格）
4.频率：13.56MHz
5.功率：0-300W连续可调，精度1W,可在设备运行中随时调整参数
6.气体控制：MFC质量流量计， 0-500ml 2路气体
7.真空度测量仪器： 2色显示式高精度数字式压力开关（SMC）
8.控制方式：7寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式
9.控制软件功能：界面显示实时工作状态
10.设备规格尺寸：长500mm 宽550mm 高800mm
1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L200mm*W270mm*H200mm
2.电极：平板气浴电极，材质6061-T6铝合金
功率电极：1
接地电极：1
3.电极尺寸：180mm *230mm（可处理产品尺寸规格）
4.频率：13.56MHz
5.功率：0-300W连续可调，精度1W,可在设备运行中随时调整参数
6.气体控制：精密针阀式浮子流量计， 0-1000ml 2路气体
7.真空度测量仪器： 2色显示式高精度数字式压力开关（SMC）
8.控制方式：4.3寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式
9.控制软件功能：界面显示实时工作状态
10.设备规格尺寸：长500mm 宽550mm 高800mm
11.电极板配置：配备3个卡槽位（接地电极），极板间距离可调整，可按需求调整极板位置
1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L200mm*W270mm*H200mm
2.电极：平板气浴电极，材质6061-T6铝合金
功率电极：1
接地电极：1
3.电极尺寸：180mm *230mm（可处理产品尺寸规格）
4.频率：13.56MHz
5.功率：0-300W连续可调，精度1W,可在设备运行中随时调整参数
6.气体控制：MFC质量流量计， 0-500ml 2路气体
7.真空度测量仪器： 2色显示式高精度数字式压力开关（SMC）
8.控制方式：7寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式
9.控制软件功能：界面显示实时工作状态
10.设备规格尺寸：长500mm 宽550mm 高800mm
11.电极板配置：配备3个卡槽位（接地电极），极板间距离可调整，可按需求调整极板位置
10L射频标配版参数：TS-PL10MA
1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L200mm*W270mm*H200mm
2.电极：平板气浴电极，材质6061-T6铝合金
功率电极：1
接地电极：1
3.电极尺寸：180mm *230mm（可处理产品尺寸规格）
4.频率：13.56MHz
5.功率：0-300W连续可调，精度1W,可在设备运行中随时调整参数
6.气体控制：精密针阀式浮子流量计， 0-1000ml 2路气体
7.真空度测量仪器： 2色显示式高精度数字式压力开关（SMC）
8.控制方式：4.3寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式
9.控制软件功能：界面显示实时工作状态
10.设备规格尺寸：长500mm 宽550mm 高800mm
11.电极板配置：配备3个卡槽位（接地电极），极板间距离可调整，可按需求调整极板位置
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