机床商务网
详细介绍
产品特点
产品主要适用于小规模生产/科学实验
设备开外小巧,结构紧凑,操作简单容易维护
引进德国核心等离子技术
进口316不锈钢材质,耐腐蚀
进口针阀精密流量控制计
两路工艺反应气体通道
可以根据客户需求定制
行业应用
基本参数
| 腔体材质 | 316不锈钢 |
| 电源频率 | 40khz/13.56mhz |
| 容量(L) | 5L |
| 功率(W) | 500 |
| 腔体尺寸(L*W*H)mm | 直径150*280 |
| 外形尺寸(L*W*H)mm | 660*700*600 |
| 真空度 | 30pa-100pa |
| 气体流量 | 0-100ml/s |
| 清洗时间 | 1-100分钟可调 |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 气体通道 | 两路工作气体，O2 , Ar等 |
| 控制方式 | 人机界面 |
| 真空腔体温度 | ＜50℃ |
| 真空泵 | 油泵/干泵(可选) |
机床商务网