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产品型号激光尺

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更新时间：2022-03-24 16:16:58浏览次数：411次

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产品简介
激光尺01LE系列激光尺LE系列激光尺采用激光干涉测量技术，以高稳定度的激光波长为基准，实现高精度、高分辨率的直线位移测量

详情介绍

激光尺

  • 01 LE系列激光尺

    LE系列激光尺采用激光干涉测量技术，以高稳定度的激光波长为基准，实现高精度、高分辨率的直线位移测量；
    LE系列激光尺采用*的热控制稳频技术将激光稳频精度保持在±0.05ppm。精确稳定的激光源和精准的环境补偿，保证±0.5um/m的测量精度；
    LE系列激光尺可以实现长达20m的精确测量，在长距离测量应用上有突出的优势；4m/s的测量速度，可满足几乎所有的测量应用；测量分辨率可配置，为1nm。

 

  • 02 应用案例及领域

    科德数控股份有限公司生产的KGHM2560U高速桥式龙门机床，X轴全行程6m，配置LE系列激光尺作为全闭环反馈，定位精度达到6um，重复定位精度达到3um；
    LE系列激光尺可用于精密机床、半导体精密加工设备、测量机等其他需要高精度直线位置反馈的应用场合。
 

参数

PARAMETER

项目名称参数
性能参数激光频率稳定度
线性定位精度
分辨率
测量速度
测量距离		±0.05ppm
±0.5um/m（±0.5ppm）
1nm 可配置
4m/s
20m
工作条件工作温度
工作压力
工作湿度		0℃~40℃
60KPa~120KPa
0%~95% 非冷凝
激光参数激光波长
激光功率
激光稳定时间
出射光斑直径		632.8nm
＜1mw
≈10min
6mm
环境补偿传感器
环境温度测量精度
大气压力测量精度
大气湿度测量精度
材料温度测量精度
±0.1℃
±100Pa
±5%
±0.1℃
电气特性
电源电压
电源电流
调试接口
位置数据反馈接口
通用I/O接口
24V±10%
2.0A
USB
RS422/RS485   串行数据：BISS_C   增量数据：TTL增量方波、1Vpp弦波
24V带隔离通用I/O点

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