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详细介绍
单面抛光305、36D、50D系列
设备应用
本系列设备主要适用于半导体硅片、蓝宝石、碳化硅、砷化镓、光学玻璃等硬脆材料的高精度单面抛光加工
设备特点
机身主体采用铸锻件，稳定性好
精密元件选用，确保抛光工件品质的高效稳定及设备的使用寿命
人性化操作界面，参数设置及工艺方式转化方便
多规格、多动力机型可供用户根据需要选择
设备参数
| 类别 | 项目 | 305系列 | 36D系列 | 50D系列 |
| 抛光盘 | 直径（mm） | 820 | 914 | 1282 |
| 承片盘 | 直径（mm） | 305 | 360 | 485 |
| 加工尺寸（mm） | 50-100 | 50-150 | 150-200 | |
| 功率（KW） | 抛光盘 | 11 | 11 | 18.5 |
| 抛头 | / | 0.75×4 | 2.2×4 | |
| 转速 | 抛光盘Max | 80 | 65 | 65 |
| 抛头Max | / | 65 | 65 | |
| 加工能力 | 50mm | 72 | / | / |
| 100mm | 20 | 28 | 56 | |
| 150mm | / | 12 | 24 | |
| 200mm | / | 4 | 12 | |
| 外形尺寸（mm） | / | 1920×1125×1680 | 2234×1330×2799 | 2234×1780×2759 |
| 重量（KG） | / | 2000 | 3500 | 7500 |
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