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西格玛光机5相步进电机光栅尺型自动滑台,(TSDM)由作为位置基准(刻度)的光栅尺,和解读其刻度获得位置信息的信号处理部组成。
西格玛光机内置小型光栅尺自动滑台,需要和平台控制器(SHOT-302GS/304GSHIT-MHIT-S)配合使用,可实现高精度,高可靠性的全闭环控制。
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