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电动真空阀

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产品型号EVB

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更新时间：2023-02-16 15:43:02浏览次数：306次

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产品简介
【停产产品】代替产品：IAVB系列通过马达驱动调整阀的开度，实现了多种导率的电动真空阀。行业半导体制造工序（前工序）半导体制造工序（后工序）

详情介绍

【马达驱动，30点开度设定】
根据外部信号通过马达驱动调整开度。
最小间距0.15mm（NW25时）。
简易的导率可变系统及真空控制的自动化。

【开度监视功能、各种信号输出功能】
内置编码器，可监视当前开度。
具备阀开、阀闭状态的动作完成信号、报警输出功能，使用更放心。

型号 名称 配管方式 备注
EVB※17电动真空阀NW25, 40, 502021年03月31日
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