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气控阀

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产品型号AGD

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更新时间:2023-02-16 15:19:40浏览次数:297次

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采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。除单体、集成型外,还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。行业化学气体供给设备用元件化学液体供给设备用元件半导体制造工序(前工序)氮气清洗关联元件

【标准型】
耐久性:100万次(实测值400万次)
适用于集成化供气系统(1.5inch, 1.125inch)

【内部密封性能大幅提升】
通过密封结构和表面精度的提高,减少颗粒的产生。

型号 名称 配管方式动作方式 备注
AGD0※R-4RM工艺气体用气控阀1/4"JXR公接头NC型, NO型
AGD0※R-4R工艺气体用气控阀1/4"JXR母接头NC型, NO型
AGD1※R-4RM工艺气体用气控阀1/4"JXR公接头NC型, NO型
AGD1※R-4R工艺气体用气控阀1/4"JXR母接头NC型, NO型
AGD1※R-4S工艺气体用气控阀1/4"双卡套接头NC型, NO型
AGD2※R-6RM工艺气体用气控阀3/8"JXR公接头NC型, NO型
AGD2※R-6R工艺气体用气控阀3/8"JXR母接头NC型, NO型
AGD2※R-6S工艺气体用气控阀3/8"双卡套接头NC型, NO型

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