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回吸阀

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产品型号AMS

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更新时间:2023-02-16 14:52:47浏览次数:359次

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以紧凑的结构确保滴液,可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。可根据流体粘度优化定制设计。行业

【防止液体滴落】
与微速型速度控制器组合,可调节为滴液状态。

【动作原理】
要流入流体时,事先对控制气口施加气压,降下膜片。
阻止流体时,如果向大气排放控制气口的空气,膜片在弹簧力的作用下上升,吸油阀内的容积增大,从而防止流体滴落。

型号 名称 回吸量连接尺寸(配管外径・螺纹直径)配管方式 备注
AMSZ2小口径0.04 cm31/8", 3 mmSUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc
AMS022中口径0.12 cm31/8", 1/4", 6 mmSUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc

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