当前位置：济南元田精密机械有限公司>>FPD设备零部件>> 真空锁定洁净室专用万向球
| 产地 | 进口 | 售后保修期 | 6个月 |
|---|---|---|---|
| 销售区域 | 全国 |
（1） 为防止刮伤玻璃基板，ISB采用Dupont的Vespel及PBI、PEEK等具有代表性的工程树脂材料。
（2） 能够抑制微粒粉尘产生，体现ISB*的洁净技术。
（3） 根据使用环境要求，可提供多样化的脱脂洗净方法。
洗净方法1：个别部件用有机溶剂洗净。
洗净方法2：所有部件用*超声波洗净。
（4） 玻璃基板定位时的摩擦系数仅为Pin支撑方式的1/10。
（5） 与滑动摩擦的Pin支撑相比，滚动摩擦的万向球寿命更长。
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