用于测量精密零件的表面平面度。
功能特色
·非接触式测量
·自主设置测量路径，适用范围广
·测量结果3D/2D显示，形象直观

系统参数
·测量范围：200mm*200mm
·精度：3μm
·测量速度：20s/片
·采样频率：200次/s

TTV测量系统

用于测量手机玻璃，蓝宝石等产品的平面度，厚度，TTV，LTV。

系统参数

精度：平面度10μm，厚度：0.4μm，TTV：1μm，测量速度：与测量路径有关，8"wafer约20s/片

TTV/WARP测量系统
用于测量硅片，蓝宝石，手机玻璃以及各种衬底的TTV、Thickness、Warp、Sori、Bow、LTV。
系统介绍
系统采用上下同轴色散共焦传感器，支持大部分材质的wafer厚度平整度量，相比较于电容或电涡流位移传感器，色散共焦位移传感器精度更高。

模具监视器

用于注塑、焊接、铸造过程中对设备关键部位的保护以及对产品瑕疵的监测。

模具监视器，对特定部位进行成像，在每个生产周期结束时对特定部位再次成像，通过对前后两副图象的变
化来判断是否进入下一个生产周期。

全自动影像检测系统

一键式影像测量仪，用于测量各种零件尺寸。

功能特色
一键式是指仅需要按一个按键就可以将一个产品中所需要测量的尺寸全部测量出来。适用于批量产品的尺寸测量。

系统特点