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详细介绍
晶硅电池掺杂设备
产品简介 ：
◆ Solar-LDS主要用于PERL电池背部钝化层开槽和掺杂，在特殊的工艺条件下，激光按照图纸进行钝化层的去除，同时实现激光掺杂；
◆ 同时该设备可以实现N型电池正面SE掺杂
晶硅电池掺杂设备
产品特点 ：
◆ 设计结构紧凑，满足客户场地要求
◆ 激光源稳定，满足*高强度作业
◆ INLINE制程，自动化程度高
◆ 高分辨率CCD定位，高品质的机械设计，保证掺杂精度
性能指标 ：
◆ 项目： | 参数 | 备注 |
◆ 硅片尺寸： | 156×156mm | 兼容125×125mm |
◆ UPH: | ≥3600PCS | @1mm线间距50μm线宽 |
◆ Uptime： | ≥95% | 正常运行时间 |
◆ MTBF： | ≥250hours | 平均故障间隔 |
◆ MTTR : | ≤12hours | 平均恢复时间 |
◆ Yield： | ≥99.8% | 满产率 |
◆ 碎片率： | ≤0.1% | |
◆ 切割精度 : | ±0.3mm | |
◆ 切割深度 | 40μm±5μm | 可定制 |
◆ 其他功能 | 1.可用于PERL电池/N型电池 激光掺杂 | |
◆ 设备尺寸 | 2200mm×5600mm×1700mm |
产品应用 ：
应用材质
◆ 晶硅PERL电池（单晶、多晶）
◆ 单晶N型电池
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