当前位置：东莞市友钻机械五金有限公司>>准力磨床系列>>晶陶/晶圆加工机>> JL-200SCG/300SCG晶陶/晶圆加工机
| 項目 | 機型 | JL- 200 SCG | ||
| 大研磨面積 | 工件直徑 | O 200 mm | ||
| 主 軸 | 型式 | 氣靜壓主軸 | ||
| 主軸數 | 1 | |||
| 功率 | 3.7 kw | |||
| 轉數 | 1000-5000 rpm | |||
| * | O 200(mm) 鑽石砂輪 | |||
| Z 軸 | 行程 | 120 mm | ||
| 進給解析度 | 0.1 μ m | |||
| 快速進給 | 205 mm/min | |||
| 工 作 台 | 型式 | 氣靜壓 | ||
| 工作台數 | 1 | |||
| 轉數 | 0-500 rpm | |||
| 厚 度 規 | 量測範圍 | 0-1000 μ m | ||
| 解析度 | 0.1 μ m | |||
| 重現精度 | ± 0.5 μ m | |||
| 重 量 | 機器重量 | 2000 kg | ||
| 尺 寸 | 機器作業空間 | 700(W)x1700(D)x2100(H) mm) | ||
| 加 工 精 度 | 平行度 | 1.5 μ m | ||
| 厚度公差 | ± 3 μ m | |||
| 表面粗度 | Ry 0.15 μ m | |||
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| 鑽石砂輪 | 精密級空氣乾燥機 | |||
| 法蘭 | 高度規 | |||
| 陶瓷真空吸盤 | ||||
| 主軸溫度控制器 | ||||
| 真空幫浦 | ||||
| 工具箱及工具 | ||||
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