3D电镜扫描仪

3D电镜扫描仪

TESCAN的产品系列包括：

• 钨灯丝扫描电镜
• 六硼化镧（LaB6）扫描电镜
• 场发射扫描电镜
• 双束（离子/电子）扫描电镜
• 双束（Xe等离子/电子）扫描电镜
• 拉曼光谱—扫描电镜联用系统（RISE）
• 飞行时间二次离子质谱—双束电镜联用系统

（TOF SIMS-SEM/FIB）






TESCAN电镜扫描仪产品特点

  所有的TESCAN电镜都配备了的现代光学设计系统

• 的大视野光路设计（Wide Field Optics^TM）采用的中间镜技术（IML），
• 能够同时提供各种工作和显示模式，如高分辨率模式，增强景深模式，视野模
• 式，大视野模式和电子通道花样模式
• 实时电子束追踪技术（In-Flight Beam Tracing^TM）最初由TESCAN开发，这种
• 方法代表了当今电子光学系统的准的控制方式。通过对所有参数进行非常
• 精确的计算，实现对电子束束流和束斑尺寸在整个能量范围内的直接控制和连续调节。
• TESCAN*的三维电子束实时立体成像技术，开辟了微纳米世界的3D体验和导航。
• 三维电子束技术使扫描轴线倾斜围绕视场的中心，来实现实时立体成像。用TESCAN
• SEM观察和获取三维图像，再加上三维重建软件，为三维表面分析提供了一个全新的工具。
• 高质量的快速成像。
• 全自动化的电子光学系统的设置和校准。
• 电子束曝光。

•                                          

•  分析能力

TESCAN的产品具有高质量、高可靠性，同时具备强大的分析能力：

• 主流的分辨率
• 性能的YAG闪烁体探测器
• 更多的探测器及配件的选择
• 样品室快速抽真空
• 提供针对不导电样品的可变真空模式
• 提供能够容纳超大样品的XM样品室和GM样品室
• LM,XM和GM样品室都配备五轴全自动优中心样品台和最
• 佳的几何配置
• 更多的接口能够安装能谱、波谱和EBSD以及其他更多的探
• 测器
• 利用三维测量软件可在重构表面后进行三维测量
• 多种减振系统可适合不同的环境

  自动化程度

自动完成电子枪的灯丝加热和校准。自动化程序可以显著减少操作者的调整时间，从而实现导航式自动操作和自动

分析。SharkSEM远程控制接口可以访问电镜的大多数功能，包括电镜的真空控制，电子光学控制，样品台控制，

图像采集等。集成的Python脚本库提供了所有这些功能。

友好的软件和工具

• 操作软件有多种语言可供选择。
• 即使没有经验的用户也可以非常容易的学会操作；
• 设定了四个级别的用户权限，包括最快速简单的
• EasySEM^TM触摸操作方式
• 图像管理和报告生成器
• 内置自我诊断系统
• 网络操作和远程访问/诊断
• 模块化的软件构架方式，可随时添加扩展功能。
• 标准化的插件，如目标区域测定软件，测量软件，
• 图像处理软件，图像分析、定位等。
• 多个可选的模块或专用的应用程序，用来自动检
• 测并进行程序优化，如颗粒分析模块或三维重构
• 模块等。