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详细介绍
XD激光干涉仪技术综述：
1D激光主要可以测量定位误差
3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）
5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角
主要特点
- 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角
- 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
- 可选的无线遥控传感器zui长的控制距离可到25米
- 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。
- 设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架
- 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间
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