2025-04-17 13:49:3758
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刻蚀工艺是选择性地从晶圆表面去除不需要的材料以达到集成电路芯片制造要求的工艺过程。刻蚀工艺可以分为图案刻蚀(pattern)与无图案刻蚀(blanket)两类。图案刻蚀是在区域选择性地刻蚀材料,从而将晶圆表面上的光刻胶
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