2024-04-24 11:25:33428
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QFHDS-XY系列平面式气浮运动台气浮导轨，超高性能精度重复定位精度±15nm（Sic版）平面式气浮结构，减小系统误差影响直线度优于1μm高速，快速的整定时间可选光栅或激光尺位置反馈
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