2023-04-10 12:30:14485
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設備介紹內容：應力量測之目的當薄膜沉積於不同熱膨脹係數(coefficientsofthermalexpansion,CTE)材料時，就會生成薄膜應力(Filmstress)，此應力將影響薄膜附著於材料的狀況
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