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3F系列直线电机模组，包括无铁芯电机和有铁芯电机类型的模组，载台长度有130mm.135mm、190mm、250mm、310mm五种可选类型，分别对应5种推力和负载递增的5个范围。标准的模组提供200、300、400、500、600、800、1000、
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