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適用於硬脆材料、高硬度及高韌性材料之加工。可應用於導電的金屬材料及不導電的非金屬硬脆材料之精密加工，例如：玻璃、陶瓷、半導體等。可提升產品良率及產能。可改善加工面精細度，以節省拋光製程。有助於降低切削
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