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位置尺精度：±20μm/m─(1mm位置尺/***解析度1μm规格品用)±(80μm15μm*L)L:位置尺长度─(5mm位置尺/***解析度5μm规格品用)●磁距：1mm─(1mm位置尺/***解析度1μm规格品用)5mm─(5mm位置尺/***解析度5μm规格品用
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