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白光干涉仪采用白光干涉测量传感器，其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数：测量原理:白光干涉测量；测量物镜10X20X50X垂直测量范围：100um(400um可选)垂直分辨率0.1nm；X,Y测量范围:1.6X1.2mm0.8X0.6mm0.32X0.24mm；
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