2020-08-10 21:02:381003
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P63芯明天压电纳米定位台直驱机构式为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点
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