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MikromaschDLC镀层硅探针针尖形状为锥形.针尖镀层为坚硬的类金刚石碳膜，悬臂梁背面镀层为30nm厚铝，有效增强悬臂反射，悬臂梁:频率160kHz力常数5N/m长度125μm;应用范围：压痕划痕探针耐磨探针
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