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磁性过滤水箱上下、前后伺服电机驱动，上下z小进刀量0.1um,前后z小进给量0.5um；加工面对基准面平行度300：0.002mm，工件表面粗糙度可达Ra0.05；高精度主轴跳动在2um以内；左右驱动为美国进口电子油压比率调节阀；砂
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