国产φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪通过成果鉴定

2022年05月，由成都太科光电技术有限责任公司牵头联合高校、研究院所共同研制的“φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪”产品顺利通过国产成果鉴定。项目于2013年由国内某研究院立项开始关键技术攻关，于2018年由四川省国防科学技术工业办公室立项开展产品化研制，于2018年12月研制完成国内产品，于2019年至2022年完成用户试用与工程化提升。项目团队经过9年艰苦攻关，实现了φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪产品化，完成了国产超大口径大型精密光学测试仪器的自主可控，进口替代。

φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪产品

由士牵头组成的成果鉴定委员会，在听取项目团队所做的工作报告、技术研究报告与现场考察基础上，对项目成果给予了客观的评价。

φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪成果鉴定现场

鉴定委员会一致认为：该项目产品实现了φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪国内套研发与应用。项目技术难度大，创新性强，关键技术自主可控，项目成果总体技术处于水平，其中基于大视场的共轴插入快速对准技术处于水平。

项目研制的国内φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪产品，在攻克多项核心技术的基础上，实现了仪器整机精度达到国际同类水平，部分指标超过国际水平。仪器产品精度：标准TF镜与标准RF镜面形精度PV均优于52nm（λ/12），TF镜与RF镜不配修直接成腔的系统精度PV优于63nm（λ/10），系统中频精度PSD1小于0.80nm，系统RMS重复性优于0.21nm（λ/3000）。

φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪产品系统精度

φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪产品系统重复性

项目在技术攻关与产品化研制过程中，还重点开展了关键核心单元技术的国产化研制，整机除大口径光学材料外实现全部国产化，国产化率到达85%以上。尤其是研制出了件φ800mm超大口径标准透射标准镜（TF镜）单元核心部件，实现标准TF镜φ800mm全口径面形精度PV优于42.2nm（λ/15）且中频PSD1小于0.80nm。

φ800mm超大口径标准透射镜面形精度

φ800mm超大口径平面数字激光干涉仪产品的研制成功标志着我国在超大口径精密光学检测领域又迈进了关键一步。太科人始终坚持科技创新、服务用户、支撑国家高科技发展的信念，致力于攻坚克难打破国外，实现关键核心技术自主可控，为我国精密光电测试领域做出应有的贡献！