基本参数：
型号 | excel661um | excel661uc | excel662um | excel662uc | excel664um | excel664uc |
测量行程 | 650x650x160mm | 650x650x250mm | 650x650x400mm | |||
外形尺寸 | 1311x1604x1608mm | 1311x1604x1788mm | 1311x1604x2088mm | |||
重量 | 1530kg | 1550kg | 1550kg | |||
承载重量 | 100kg | 100kg | 100kg | |||
平台材质 | 钢构 | |||||
基座材质 | 花岗岩 | |||||
传动方式 | unique x&y monorail, monorail linear z | |||||
电控系统 | 伺服系统: cnc, 鼠标, 摇杆 | |||||
电源系统 | 93-264 vac, 47-63 hz,zui大10 amp | |||||
xy 精度 | uxy=2.5+l/300μm | uxy=2.8+l/300μm | uxy=3.2+l/300μm | |||
z 精度 | ux=2.5+l/150μm | ux=3.0+l/150μm | ux=3.5+l/150μm | |||
xy 重现性 | 2.5μm | 2.8μm | 3.2μm | |||
z 重现性 | 2.5μm | 3.0μm | 3.5μm | |||
xy 加速度 | 1000mm/s2 | |||||
z 加速度 | 500mm/s2 | |||||
xy 移动速度 | 500mm/s | |||||
z 移动速度 | 150mm/s | |||||
光学尺分辨率 | 0.1μm | |||||
影像 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 |
光源 | 红光led | 白光led | 红光led | 白光led | 红光led | 白光led |
照明系统 | 表面光, 轮廓光,同轴光 | |||||
光学系统/放大倍率 | 12x 光学/3x 数字 zoom / 15x~1200x 放大倍率 | |||||
软件 | inspec for windows metrology software（2000/xp/vista） | |||||
工作环境 | 20℃（68℉）±2°,30-80%湿度 | |||||
