产品概述
玻璃基微流控芯片激光雕刻设备是一款基于CO₂激光技术的加工系统,专为玻璃、石英等硬脆材料的微流控芯片制造而研发。设备通过高精度激光能量控制,实现玻璃基材的无损切割、微通道雕刻及表面改性,突破传统光刻工艺的复杂流程与高成本限制,为生物医学检测、高通量药物筛选、即时诊断(POCT)等领域提供高效、灵活的加工解决方案。
核心技术优势
亚微米级精密加工
采用超稳定CO₂激光源与高精度振镜系统,聚焦光斑直径小,雕刻精度高,轻松实现玻璃基芯片中微通道、微反应腔及复杂结构的无掩模直写,确保流体控制的精准性与一致性。
支持多层玻璃基板的对位雕刻与透射式加工,满足微混合器、液滴生成器等精密功能单元的一体化成型需求。
无裂纹冷加工技术
创新脉冲激光调制技术,结合实时温度监测系统,有效控制热影响区,避免玻璃因热应力产生微裂纹或崩边,成品良率提升至99%以上。
非接触式加工避免机械应力损伤,边缘粗糙度低,可直接进行亲疏水改性或键合封装。
智能化工艺集成
搭载专用微流控设计软件,支持AutoCAD、DWG文件一键导入,加工效率较传统工艺提升3倍。
多材料兼容性与扩展性
除玻璃基材外,兼容PDMS、PMMA等微流控常用材料的切割与打标,支持异质材料复合器件加工,助力器官芯片、单细胞分析等前沿研究。
典型应用场景
生物检测芯片:快速雕刻微量样本检测通道,适配生化传感、DNA分析等应用。
高通量药物筛选:批量加工多孔微腔阵列芯片,提升药物递送实验效率。
即时诊断(POCT)设备:高精度制作低成本一次性玻璃芯片,满足体外诊断设备量产需求。
光学微流控器件:利用玻璃透光性优势,加工集成光学检测窗口的微流控系统。
服务与保障
全周期支持:提供工艺开发、设备培训及定制化解决方案,协助客户快速实现从设计到量产。
品质认证:核心部件采用进口配置,确保设备寿命超10万小时。
安全防护:全封闭式舱体设计,配备Class 1激光安全防护与智能除尘系统,保障操作安全性与环境清洁度。
选择我们的理由
突破技术瓶颈:替代传统光刻与湿法蚀刻,加工周期缩短70%,单件成本降低60%。
高兼容性与灵活性:支持科研级小批量试制与工业级连续生产,无缝衔接微流控芯片迭代需求。
可持续升级:模块化设计支持功率升级(30W-100W)与AI工艺优化系统扩展,持续赋能未来创新。