晶片规格:
2-8〞单、双cassette
主要材料:
金属骨架+PP/PVC/SUS304壳体,槽体材质PP/PVDF/PTFE/石英
工艺槽功能:
循环过滤+加热
基础工艺流程:
ACE→NMP→IPA→QDR
设备类型:
手动/半自动/全自动(定制)
Footprint : 1800 (W) x 1300 (D) x 2000(H) mm(非标)
该设备应用湿法制程有机溶剂清洗,触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制,由机械手臂180度旋转设计执行槽位间的晶圆输送,依制程需求或场地需求,配置多款制程槽位模块,提高产能输出,生产流程更有效率管控,各种安全防护标准设计,针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。