1-8-1，
4-566，
8-70-2。
RBZ-SG系列精密Z轴应用领域
RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴，具有纳米级微动步距，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。
RBZ-SG系列精密Z轴结构特点
直驱结构，承载能力大，在一个长行程的移动范围，保持尽可能低的高度，优化阿贝误差影响，有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。
直驱结构
力矩电机作为直驱方式，没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节，RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动，相对侧升结构Z轴，无需转接板，负载重心布置在Z轴中心，有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
光栅闭环反馈
RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈，直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式，直接测量工件移动时的误差，提高了精度性能。
规格指标
单位 | RBZ-20SG | RBZ-35SG | RBZ-50SG | ||
行程 | mm | 20 | 35 | 50 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 |
标准值 | ±3 | ±4 | ±5 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±2.5 | ±2.5 | ±3.5 |
标准值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±2 | ±2 | ±3 |
标准值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | |||
速度 (空载) (4) | mm/s | 10 | 10 | 20 | |
负载 | kg | 20 | 40 | 60 | |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度5mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的指标，速度取决于负载大小。
