真空级无铁芯直线电机是我公司U系列无铁芯直线电机的姊妹版，其线圈组和磁轭专门设计用于低达10^-8 mBar的高真空环境。
该系列电机保留了我公司常规无铁芯直线电机的特点：重量轻、精度超高。同时该系列电机运动极其平稳，并且其放气量在同系列产品中极其低。
真空ULV – G2系列是真空级直线电机系列中的中型号系列。它们通常用于对峰值推力有要求或低热量输出的应用。
例如在光刻和检测方案中，在更长的行程中，ULV – G2线圈可以连接组合以节省磁铁材料，但仍能达到高性能。
推力
峰值推力: 720 N
连续推力: 165 N
