激光清洗系统
应用行业：
1、微电子行业：晶圆面板激光清洗、电路板清洗；
2、OLED微型显示器芯片：芯片管脚PAD焊线前激光清洗、液晶显示器清洗；
3、文物艺术品保护：无损还原；
4、汽车产业：各种焊接处焊后激光清洗；
5、其它：材料表面各种杂质、氧化物、微小颗粒物、油污去除。
技术特点：
1、静态气体寿命 >30天；
2、激光器寿命 >20亿次脉冲；
3、多种光路方案，可定制；
4、反射/透射照明；
5、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，1μm分辨率 ；
6、电动焦点控制（沿Z轴）；
7、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选 ；
8、快速响应时间，易于操作的软件；
9、同轴机器视觉示意图，所见即所得。
光束传播特点：
1、能量控制 10-80% ；
2、投影缩倍4x-20x ，可定制；
3、工作距离>25mm；
4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ；
5、同轴显微成像；
6、光斑匀化系统。
软件功能：
1、图形化加工路径显示；
2、晶圆自动聚焦、自动对位；
3、大视野晶圆导航图；
4、激光参数设定及调试；
5、加工进程控制、中断自动恢复；
6、芯片参数导入；
7、坏点剔除功能；
激光清洗系统参数：
波长 | 193nm /248nm |
脉冲宽度 | 5-10 ns |
单光斑加工面积 | ＞400um x400um |
光学分辨率 | 1um |
能量密度 | >10J/cm² |
脉冲稳定性 | ≤2% |
脉冲重复频率 | 1-1000Hz |
系统框架 | 大理石光学基座以及金属框架结构 |
机器视觉 | 同轴照明/观察，所见即所得 |
投影物镜 | 紫外超长工作距离物镜 |
掩膜版位移台 | 100mm x100mm，定位精度:±1um |
Z轴电动平台 | 50mm行程，±1μm重复定位精度 |
衰减器 | 电动可调、调节范围15%-80% |
| 控制软件 | LPCPro3D自动加工处理软件 |
