主要特点:
1、成像质量:使用的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描
2、量测集成包:大族激光是使用量测集成包的公司,能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案
3、光学系统:使用自主*的大视野显微镜,配有高级照明系统和即时聚焦技术
4、缺陷查找:使用*的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变异
5、直线高精电机,XYZ平台, 100纳米分辨率
6、机械结构200纳米精度
7、洁净化设计 (运动平台在晶圆下侧)
8、浮式基座平台减小设备震动影响
主要参数:
加工效果:
大族激光是世界主要的激光加工设备生产厂商之一,2014年公司销售收入超过55亿元人民币,位居世界激光企业前三位,国内激光设备占有率位。目前公司是广东省装备制造业重点企业、广东省产品企业、深圳自主创新企业,主要科研项目被认定为*火炬计划项目。
大族激光为国内外客户提供一整套激光加工解决方案及相关配套设施,主要产品包括:激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、高功率激光切割及焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、直线电机、LED设备等多个系列二百余种工业激光设备及其配套产品。公司产品涉及电子电路、集成电路、仪器仪表、计算机制造、手机通讯、汽车配件、精密器械、建筑建材、服装服饰、城市灯光、金银首饰、工艺礼品等多种行业。
主要特点:
1、成像质量:使用的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描
2、量测集成包:大族激光是使用量测集成包的公司,能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案
3、光学系统:使用自主*的大视野显微镜,配有高级照明系统和即时聚焦技术
4、缺陷查找:使用*的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变异
5、直线高精电机,XYZ平台, 100纳米分辨率
6、机械结构200纳米精度
7、洁净化设计 (运动平台在晶圆下侧)
8、浮式基座平台减小设备震动影响
主要参数:
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