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晶圆激光切割机

参考价 ¥ 288888
订货量 ≥1
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称首昂光电(上海)有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       号SA-IR20WD
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2023-03-07
  • 访问次数1032
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十五年深耕激光设备研发,十五年扎根半导体行业应用,造就了首昂光电深厚的技术沉淀以及*特的行业视角,我们一直致力于把更好的激光与自动化技术带入半导体行业。

作为*内*批将激光应用于二极管、三极管及可控硅晶圆划切的*军者,公司技术团队正积极将激光技术应用到更宽广的半导体领域,助力中国半导体行业走向*端与自主可控。公司已储备大量基础加工技术,正稳步推进一系列拥有自主知识产权的新工艺、新应用,在多个关键制程设备上达到行业*先水平,*美实现国产化替代。

 

晶圆激光切割机,晶圆激光划片机,晶圆激光刻号机,全自动匀胶机,韩国进口LS DD马达(力矩电机),晶圆激光焊接机、激光打孔机
产地 国产 激光器波长 1064nm
激光器功率 20W 切割厚度 0.1mm
切割速度 150mm/s 驱动方式 伺服电机
售后保修期 12个月 外形尺寸(长×宽×高) 1350*800*1700mm
重复定位精度 0.002mm 重量 680kg
晶圆激光切割机
Wafer Laser Cutting Machine
产品特点:
划片速度快,效率高,成片率高,切割速度150mm/s

非接触式加工,无机械应力,适合切脆性易碎硅晶圆
CCD快速定位功能,实时同轴监视或旁轴监视功能
高精度二维直线运动平台,高精度D D旋转平台
大理石基台,稳定可靠,热变形小
专业操控系统
全中文操作界面,操作直观、简易,界面良好
无需砂轮刀、蓝
晶圆激光切割机 产品信息

晶圆激光切割机

Wafer Laser Cutting Machine

产品特点:

划片速度快,效率高,成片率高,切割速度150mm/s


非接触式加工,无机械应力,适合切脆性易碎硅晶圆

CCD快速定位功能,实时同轴监视或旁轴监视功能

高精度二维直线运动平台,高精度D D旋转平台

大理石基台,稳定可靠,热变形小

专业操控系统

全中文操作界面,操作直观、简易,界面良好

无需砂轮刀、蓝膜、去离子水等耗材

高可靠性和稳定性

划片质量高,玻璃钝化层无崩裂和微裂纹。

应用领域:

广泛应用于集成电路晶圆、GPP晶圆的划线切割以及T VS晶圆的划线切割。


产品参数:

设备型号             SA-IR20W        SA-UV15W

激光波长              1064nm                            355nm

激光功率              20w/30w                         5w/10w/17w

*大加工晶圆尺寸3-5寸                         4寸

划线速度              150mm/s                               70mm/s

划线线宽      35~45μm                            20~30μm

划线线深       < 120μm(视材料而定)                50-100μm

系统定位精度   5μm                               5μm

重复定位精度   2μm                               2μm

激光器使用寿命10 万小时                              1.2 万小时

设备尺寸         1350*800*1700mm  1350*800*1700mm

整机重量            680kg                             680kg


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