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NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称那诺—马斯特中国有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地国外
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2022-11-18
  • 访问次数282

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,中国台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室,提供销售和售后技术服务。


那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯*限公司于1992年在美国所创立的全资子公司,是一家国ji领xian的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。


自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备,正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全qiu薄膜设备的供应商,已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。


我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员,使得公司拥有yi流的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商,我们的目标是提供高品质的服务并始终维持zui高水平的集成度。



ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD
产地 进口 售后保修期 12个月
销售区域 全国
NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统概述:NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7TorrJ限真空)、PC全
NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统 产品信息

NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统概述:NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7TorrJ限真空)、PC全自动控制,*的安全互锁。

目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。


NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)


NMC-4000(M)-1.png


特点:

  • 独立系统

  • 14”不锈钢立方体腔体

  • 1次在8”样品台上处理1个6”晶圆片或在12”样品台上处理5片4”片子

  • 加热的气体管路

  • RF等离子源,自动调谐

  • 淋浴头气体分布

  • 1100°C的旋转样品台

  • N2冲洗

  • 全自动上下载片

  • 可以兼容到集群配置中


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