NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达8"旋转平台，可支持4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，J限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000带有13”铝质腔体，4个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，我们提供不锈钢腔体，500 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点：
不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
带密码保护功能的多级访问控制
*的安全联锁
选配项：
向上、向下或侧面溅射
RF、DC以及脉冲DC溅射
共溅射、反应溅射
组合溅射
RF或DC偏压（1000V）
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
应用：
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射
型号：
NSC-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统
NSC-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统
NSC-3000：PC计算机全自动控制的台式系统
NSC-1000：半自动控制的台式系统
(以下为双系统型号)
NSR-4000：溅射/RIE系统
NSP-4000：溅射/PECVD系统
NST-4000：溅射/热蒸发系统
