- 用途
- 技术参数
1、双端口检测；
2、大口径元件面形检测；
3、光学材料均匀性测量；
4、平行平板元件多表面测试；
5、元件面形分析，光学数据处理。
序号 | 指标名称 | 指标参数 |
1 | 测试结构 | 卧式双端口； |
2 | 测试口径 | 大端口：通光口径≥φ815mm，有效口径≥φ800mm; 小端口: 通光口径≥φ102mm，有效口径≥φ100mm； |
3 | 相移方式 | QPS波长调谐相移解相； |
4 | 测试光源 | 波长调谐相干光源，λ=632.8nm，相干长度≥100m； |
5 | CCD指标 | 分辨率≥2.3K×2.3K，帧率≥50Hz； |
6 | φ800mm标准楔形镜（TF镜） | 标准面面形：PVr优于λ/12，中频误差PSD1小于0.9nm，进口熔石英材料； |
7 | φ800mm标准反射镜（RF镜） | 标准反射面面形：PVr优于λ/12，中频误差PSD1小于0.9nm，进口微晶材料； |
8 | 系统传递函数 | ITF ≥ 0.7 @ 0.4 mm-1（φ800mm大端口系统）； |
9 | 系统精度 | 系统精度：系统空腔精度PVr优于λ/10，中频误差PSD1小于0.9nm（φ800mm有效口径内）； |
10 | 系统重复性精度 | 系统重复性精度：系统RMS重复性优于0.63nm，λ/1000（2σ）； |
11 | 调焦范围 | 光瞳调焦范围≥±2.5m； |
12 | ZOOM变焦 | ZOOM变焦：1X光学变焦，50X数字变焦； |
13 | 测试对准方式与角度 | 测试对准方式与角度：快对准与精密对准方式，对准角度≥±15°/±3°； |
14 | 波长调谐相移分析软件 | 输出峰谷值（PV）、标准偏差（RMS）、等高图、X-Y剖面图、三维立体图、干涉条纹图、MTF(光学传递函数)、PSF(点扩散函数)，泽尔尼科多项式分析、赛德尔相差分析等； 分析软件可进行矩形、椭圆、正方形、圆、多边形等数据分析功能； 平行平板类元件测试功能（样品无需特殊处理），一次干涉条纹数据采集可同时得到，平行平板前表面面形、后表面面形，光学厚度变化； 具有材料均匀性测试分析功能； |
15 | 标准反射镜支撑调节 | 二维手动与电控角度调节，整体结构气浮大范围移动； |
16 | 测试工装 | 两维角度调节，一维平移调节，大范围气浮调节； |
17 | 气浮隔振平台 | 进口TMC气浮L形隔振平台， 尺寸≤3500mm1500mm+1500mm×3000mm。 |
