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CMP设备

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  • 公司名称东精精密设备(上海)有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2022-07-08
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东精精密设备(上海)有限公司是日本上市公司株式会社东京精密在华全资投资的海外子公司。东京精密集团于1994年以代表处的形式入驻中国市场。为能更好地服务于客户,2002年将代表处升级为了法人公司。主要从事东京精密集团生产的测量精密设备和半导体加工设备的销售及相关的售后服务工作。 2010年,株式会社东京精密加大了在华投资,东精精密设备(上海)有限公司的经营范围增加了生产和加工的功能,并在平湖投资成立了制造型工厂平湖东精精密设备有限公司,从而真正开始了在中国国内的组装、制造工作。 伴随着中国制造业的迅速发展、大数据的广泛应用,为了满足广大客户的需求,近期公司还设立了研发部,为实现测量及半导体设备更的一体自动化功能而添砖加瓦。 东精精密设备(上海)有限公司在中国多年的发展,已经具备完善的销售、售后服务体系,成熟的线上线下客户培训系统,及灵活多变的应用技术支持功能,配合东京集团生产的高设备产品,定能为广大客户的生产系统保驾护航。
激光切割机,三坐标测量仪,表面粗糙度仪,轮廓形状测量机
CMP设备CMP是在IC制造工程中晶圆表面平坦化工艺之一环,使用化学研磨剂、研磨垫等,通过化学和机械的复合作用,对晶圆表面的凹凸不平进行研磨,达到平坦化要求的设备
CMP设备 产品信息

CMP设备

CMP是在IC 制造工程中晶圆表面平坦化工艺之一环,使用化学研磨剂、研磨垫等,通过化学和机械的复合作用,对晶圆表面的凹凸不平进行研磨,达到平坦化要求的设备。

  • ChaMP:小型CMP装置
    ChaMP:小型CMP设备
    半导体器件量产用,搭载了高性能CMP技术的小型化CMP设备。

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