高刚性研磨机
高刚性研磨机是对蓝宝石、碳化硅等难磨材料进行研磨的设备。
- 高刚性研磨机:HRG3000RMX全自动高刚性三轴研磨机,可实现快速无损伤加工。 加工成本低,加工精度高,实现镜面加工。
- 高刚性研磨机:HRG300/HRG300AHRG300 既可以对大尺寸晶圆(300 mm)进行单枚加工,也可以对小直径工件进行多枚同时加工。
- 全自动高刚性双轴研磨机:HRG200XHRG200X是全自动高刚性双轴研磨机。可实现在短时间之内的无损加工。实现了低成本、高精度、镜面加工。