產品說明 | l 突破傳統直角座標系統結構,採用線性馬達精密萬向軸承,建立平行六連桿運動機構,以達到快速精準的量測動作。 l 內建溫度控制裝置,確保不受環境溫度影響。 l 佔地面積小,節省空間。 l 使用三次元有如分厘卡簡單。 | | 產品規格 | 型式 | 350 | 500 | 各軸行程(mm) | X:300 Y:300 Z:200 | X:400 Y:400 Z:270 | 機台大小(mm) | X:790 Y:900 Z:2030 | X:905 Y:1140 Z:2195 | 光學尺解析度 | 0.5µm | 0.5µm | 平台結構 | 花崗岩 | 花崗岩 | 移動速度 | 500mm/sec | 500mm/sec | 移動加速度 | 750mm/sec2 | 750mm/sec2 | 空氣消耗量 | 無須氣壓 | 無須氣壓 | 所需空氣壓力 | 無須氣壓 | 無須氣壓’ | | | |