其原理是由投影光線照射後，經透射光接收器或反射光接收器收到的訊息判斷其缺陷的檢測方式。
根據光敏感度的強弱判定，可察覺在正常區域中的一部分的缺陷，再利用變化的滲透性以及不同的數據做定位、定量的測量。
應用範圍：
- 光學基材：PET、TAC、偏光板（Polarizer）、 PC、PMMA、PET、PS等
- 光學薄膜：硬質膜HC(Hard Coat）、
抗反射層AR(Anti Renection）、
抗眩層AG(Anti Glare）、
離型膜（Release Flim）、
抗靜電層（Anti Static）、PSA抗壓膠層。 - 金屬：不誘鋼捲、鋁捲、銅箔、鋼板
- 玻璃、布、紙捲等
- 鋰電池芯及隔離膜
產品種類：
光學式表面檢查裝置：LSC-6000系列
枚葉檢查裝置：MLA-5000及客製化設計
產品特色：
- 準確的即時（Real Time）檢查靈敏度的變化。
- 追隨蛇形，自動檢查寬度功能。
- 擁有高速補正精度，從停止狀態到速，可維持一定的檢查精度。
使用濃淡資訊分類缺陷的種類，追加缺陷的高峰密度、平均密度，作為缺陷的特徵。 - 能提高污垢、細刮傷等的低對比度缺陷的檢查性能。
- 自動調整電燈（螢光燈、鹵燈）的劣化，能自動支援多種類的檢查物件
- 針對不同缺陷設計不同光源、不同分解，可加以補捉攝影（Camera）。
- 當檢查出缺陷時可同步表示缺陷部周邊畫像，並且保存。
- 可將用戶的缺陷種類分類，最多可分類100種缺陷。
- 識別密集缺陷，識別週期性缺陷。
