產品說明
Cosmo Finder 是一種使用顯微鏡通過圖像處理實現晶圓的高速和高精度目視檢查的設備。例如，我們可以解決客戶無法檢查所有晶圓，未發現微小異物或幾微米的刮痕，工人誤檢，節省人工等問題。
特色
- 不限制使用場所，節省空間設計
緊湊的設計實現了 1m x 1m 或更小的佔地面積。
光學單元、驅動單元、圖像處理單元和控制單元內置於主體內部，以在節省空間的同時實現高性能。它可以用於製造過程到研發部門的所有場所。 - 圖像分析，30多年的經驗實現高精度檢測
憑藉30多年的圖像分析軟體開發經驗，我們可以接受眾多客戶的要求，並對各種缺陷的識別做出響應。 Cosmo Finder 還可以有效地檢查迄今為止難以檢測的異物和划痕。 - 基於AI技術改善無法辨識問題
在管理目測檢測到的缺陷時，我們經常會遇到“人眼可以分類，計算機不能分類”的問題。但是，通過Cosmo Finder的AI功能進行學習，可以根據相似粒子的形狀、大小、亮度等，像人類分類一樣對粒子進行分類。
規格
Cosmo Finder
| 待測晶圓 | 裸晶、圖案化晶圓、帶膜晶圓 |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 2英寸到8英寸 |
| 檢查項目 | 異物、裂紋、亮度不均、斷線、圖案識別、尺寸、尺寸、OK/NG判斷 |
| 檢測方法 | 顯微圖像處理方法（高速模式匹配、AI分類、亮度提取） |
| 檢測時間 | 約10分鐘/晶圓（6英寸晶圓，分辨率0.69um） |
| 檢測靈敏度 | 約2μm以上 |
| 相機 | 2 / 3 英寸 5MP CMOS 攝像頭 |
| 光源 | 白光LED |
| 自動對焦 | 激光三角測距型，對焦時間100毫秒以下 |
| 設備尺寸 | 寬635mm 高1355mm 長 998mm |
| 設備重量 | 約130kg |
