產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
PF-600 適合大型工件之掃描式表面輪廓儀，量程X/Y/Z為600/600/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為800/800/120mm，超高精度與真直度對工件平面度Flatness或翹曲Warpage量測有優異表現，適合100KgW以下載重各種樣品量測需求。
樣品量測應用，例如天文望遠鏡鏡片非球面量測、X-Ray入射鏡輪廓量測、太陽光集光鏡片輪廓、晶圓、花崗石平台、面板、精密滑軌、精密模具之平面度粗糙度掃描需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
- 掃瞄速度：50mm/sec 高速高精度掃描
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測距離 | 600mm | 600mm | 10mm | 120mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | ||
| 光學自動對焦系統 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） | |||
| 聚焦範圍 | Ø 1µm（搭配100X 物鏡） | ||||
| 雷射 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 量測用物鏡 | 100X (WD=3.4mm NA=0.8) 觀察倍率:約1100倍（9吋螢幕） | ||||
| 雷射入射角度可變機構 | 水平迴轉 (0~90°) | ||||
| 落射照明 | 科勒照明（光源: 白LED） | ||||
| 載物台 | 導軌 | XY：空氣軸承 AF(Z1)、Z2：螺桿 | |||
| 供給空氣 | 乾燥空氣 | ||||
| 供給壓力 | 0.6MPa | ||||
| AIR消耗量 | 120 L/min (max) | ||||
| XY平台尺寸 | 800x800mm | ||||
| 樣品高度 | 230mm（含AF移動空間可達300mm） | ||||
| 樣品重量 | 100kg | ||||
| 儀器尺寸 | 2240x1800x2000mm 載物面高880mm | ||||
| 避震器 | 4點氣浮式（固有振動：水平2.8 垂直2.3Hz） | ||||
| 儀器重量 | 4500kg | ||||
| 消費電力 | 1000W (AC100V 10A) | ||||
車載曲面玻璃
車用曲面玻璃為圓弧型輪廓設計，安裝於駕駛儀表板、副駕駛前方或前擋風玻璃，做為行車資訊提供與車內娛樂娛樂顯示，曲面玻璃的面形精度不如鏡片高，因為曲面玻璃量測面積非常大，為縮短量測時間會再表面噴塗銀粉以提高反射率，因為樣品面積很大，如果每片都要噴塗銀粉，一來銀粉塗布不均是否增加量測物差，二來樣品前處理耗材費用將是成本考量之一，另外樣品前後處理的清潔總時間與直接量測所花費時間是否較短? 還有噴銀粉的技術變成為面形量測精度變數之一，種種細節影響量測精度。
三鷹光器公司提供了直接量測大面積透明曲面鏡的解決方案，樣品數十公分的鏡面大小，無需噴粉等麻煩前置作業，也能輕易量測微米級的表面形貌差異變化。
曲面玻璃量測範例
快速面形比對，使用3D CAD比對方式是選擇之一，三鷹光器雷射自動聚焦表面輪廓儀，掃描樣品表面輪廓，XYZ 3軸座標都是光學尺量測數據，量測精度有保障。3D CAD擬合比對方法設定公差上下限，從圖面上可判定量測誤差。
HUD 凹面與凸面的設計值比對結果。（凹面PV=30um,凸面PV=40um）
晶圓拋光後平面度量測
12吋晶圓CMP拋光平面度與粗糙度量測極為重要，日本三鷹光器量測儀器優勢在量測大行程且高精度樣品之表面輪廓，以PF-600為例：XY移動軸600mm，搭配光學尺做樣品取點密度0.1um，自動聚焦重現性δ=0.03um，為晶圓拋光平面度量測提供解決方法。
為驗證儀器精度，我們使用光學平面鏡做表面3D平面度掃描測試，下圖使用光學級平面鏡來驗證PF-600量測機精度，設定掃描直徑380mm（範圍 XY 380x380mm 約15吋），掃瞄速度20mm/sec，樣品設置方式如下圖。
