★深耕内层湿膜领域,专用湿膜加工效率大突破,高达10500片/天
★搭配优质高功率复合波长激光光源,实现不同感光材料的高适配性
★搭载优化标靶识别系统
★曝光工序全数字化作业,跨入工业4.0智能制造
曝光尺寸
大台面:24.5"×28.5"
标准台面:22"×24.5"
层间对位精度
25um
光源
405nm
板厚
单机:0.05-5.0mm
连线:0.075-2.5mm
景深
±300µm
线宽精度
±10%
对位精度
±12µm
适配性
适配于智能制造系统
生产效率
单机:300面/小时
连线:7000panels/day
