激光尺
01 LE系列激光尺
- LE系列激光尺采用激光干涉测量技术，以高稳定度的激光波长为基准，实现高精度、高分辨率的直线位移测量；
- LE系列激光尺采用*的热控制稳频技术将激光稳频精度保持在±0.05ppm。精确稳定的激光源和精准的环境补偿，保证±0.5um/m的测量精度；
- LE系列激光尺可以实现长达20m的精确测量，在长距离测量应用上有突出的优势；4m/s的测量速度，可满足几乎所有的测量应用；测量分辨率可配置，为1nm。
02 应用案例及领域
- 科德数控股份有限公司生产的KGHM2560U高速桥式龙门机床，X轴全行程6m，配置LE系列激光尺作为全闭环反馈，定位精度达到6um，重复定位精度达到3um；
- LE系列激光尺可用于精密机床、半导体精密加工设备、测量机等其他需要高精度直线位置反馈的应用场合。
参数
PARAMETER
| 项目 | 名称 | 参数 |
|---|---|---|
| 性能参数 | 激光频率稳定度 线性定位精度 分辨率 测量速度 测量距离 | ±0.05ppm ±0.5um/m（±0.5ppm） 1nm 可配置 4m/s 20m |
| 工作条件 | 工作温度 工作压力 工作湿度 | 0℃~40℃ 60KPa~120KPa 0%~95% 非冷凝 |
| 激光参数 | 激光波长 激光功率 激光稳定时间 出射光斑直径 | 632.8nm ＜1mw ≈10min 6mm |
| 环境补偿传感器 | 环境温度测量精度 大气压力测量精度 大气湿度测量精度 材料温度测量精度 | ±0.1℃ ±100Pa ±5% ±0.1℃ |
| 电气特性 | 电源电压 电源电流 调试接口 位置数据反馈接口 通用I/O接口 | 24V±10% 2.0A USB RS422/RS485 串行数据：BISS_C 增量数据：TTL增量方波、1Vpp弦波 24V带隔离通用I/O点 |
