大族激光是世界主要的激光加工设备生产厂商之一，2014年公司销售收入超过55亿元人民币，位居世界激光企业前三位，国内激光设备占有率位。目前公司是广东省装备制造业重点企业、广东省产品企业、深圳自主创新企业，主要科研项目被认定为*火炬计划项目。
大族激光为国内外客户提供一整套激光加工解决方案及相关配套设施，主要产品包括：激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、高功率激光切割及焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、直线电机、LED设备等多个系列二百余种工业激光设备及其配套产品。公司产品涉及电子电路、集成电路、仪器仪表、计算机制造、手机通讯、汽车配件、精密器械、建筑建材、服装服饰、城市灯光、金银首饰、工艺礼品等多种行业。
功能：
可清洗晶圆表面的颗粒、有机物、金属杂质、氧化物
特点：
1)相较于真空等离子，可以在常压下工作
2)工作效率远高于真空等离子
3)氩气等离子辉光为低温，不会破坏晶圆
| 序号 | 项目 | 规格参数 |
| 1 | 电源电压 | 220（±10%）VAC，50/60Hz |
| 2 | 电源需求 | 220VAC/10A以上， |
| 3 | 工作频率 | 13.65MHz |
| 4 | 设备功率 | <3.2KW（依实际为准） |
| 5 | 气源要求 | 根据产品选AR，N2，O2等气体 |
| 6 | 压缩空气 | ≥0.3MPa（3kg/cm2） |
| 7 | 主机尺寸 | 1260(L)x600(W)x1980(H)mm |
| 8 | 等离子头尺寸 | 400(L)x80(W)x60(H)mm |
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