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真空传输平台DIAGRAM 600

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称沈阳新松机器人自动化股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2021-09-10
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      沈阳新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)隶属*,是一家以机器人技术为核心,致力于数字化智能制造装备的高科技上市企业,是机器人产品线Z全的厂商之一,在沈阳、上海、杭州、青岛建有机器人产业园,在北京、深圳等城市设立多家控股子公司,在上海建有新松总部。新松现拥有1600余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、产品及行业系统解决方案为一体的完整产业价值链,并将产业战略提升到涵盖产品全生命周期的数字化、智能化制造全过程。
 
       新松始终以超前的技术和*的软硬件综合实力,一直中国机器人产业发展。主导业务涵盖机器人核心零部件、系列机器人产品、行业系统解决方案、工业4.0等四大业务板块:新松机器人产品线包括工业机器人、移动机器人、洁净机器人、特种机器人和服务机器人五大类80余种机器人产品。其中,工业机器人产品性能达到同类产品技术水平;洁净机器人是国内的产品和解决方案供应商,*打破被日本、韩国、欧美国家等发达国家垄断的局面,大量替代进口;移动机器人占据国内汽车市场、电力*90%以上,产品批量出口国外;服务机器人成为公司新经济增长点。为了让用户能够享受到更便捷与更全面的智能化服务,通过创新的软硬一体化技术的整合应用,新松数字化工厂业已打造成为中国数字化工厂领域。公司的产品已出口23个发达国家及地区,三分之二以上客户为外资企业,创造了中国机器人应用*的新时代。

       面对新一轮竞争,新松已经开始实施 “四轮驱动”战略,从内涵式增长转向"内生 外延"式发展,在产业链的纵向布局和并购重组的横向扩张两方面同时发力。着力构建 "2+N+M"模式,在全国设立N个区域性公司,下面再建立不同的子公司,完善网络化市场服务格局。

       面向未来,公司以工业 4.0 和"中国制造 2025"为契机,继续完善产业布局,调整组织架构,强化创新能力,全面提升公司在智能制造领域的综合实力,为公司集团化发展提供强劲动力。作为中国较大的产业化基地,新松建立了大平台战略,即创新平台,产业平台,金融平台。集技术创新、资本、人才于一体,保持企业的可持续发展。公司将“智慧新松,无限价值”的核心理念为驱动,践行着“推动产业进步、保障国防安全、提升生活品质”的神圣使命。新松将一如既往地保持着创新的精神,不断以新的高品质产品服务于用户,推动中国机器人产业的发展。新松愿同社会各界共同携手,满怀科技报国的热情,不断实现着新的梦想。

工业机器人,洁净机器人,智能物流装备,,激光装备,智能服务型机器人,自动化装配检测生产线,节能环保装备
一体化程度高,自动化程度高,拥有新松自主研发的真空机械手,真空预对准装置及晶圆盒真空升降传输装置,带有迎合个性化设计的用户可定制端口;
真空传输平台DIAGRAM 600 产品信息

Diagram600晶圆传输平台,符合集成电路工艺精度和净化要求,并具有高精度、高效率、高洁净度和高可靠性,是链接物料搬运系统与硅片处理系统的桥梁,能够保证硅片在不受污染的条件下被准确安全的传输。在半导体前道设备中广泛应用,对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务,快速响应的售后服务,以及敦实的技术实力,是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。

参数:

Item

Specification

晶圆类型

Wafer types

SEMI standard silicon wafers

晶圆尺寸Wafer Size

100mm,150mm, 200mm

定位标记

Alignment Mark

Notch & Flat

厚度thickness

150mm wafer: 0.675mm±10%;

200mm wafer: 0.75mm±10%

Cassette类型

Cassette types

configurable for 150mm, 200mm SEMI Standard cassettes.

传输平台

Transport Plane

900 mm at VCE platform(SEMI-std)
1100 mm per SEMI std E21-91 at Process Module side(9.5 mm above slot centerline)

晶圆取放精度

Wafer placement repeatability

0.2mm

真空度Vacuum level

rough pumping: 5 mTorr

漏率Leak rate

0.5 mTorr/minTest after 24 hours pump


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