1. 光栅安装方式
光栅热膨胀系数获得PTB认证，装配时，一端固定，另一端可随温度变化自由伸缩。
2. 光气动平衡技术
*的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，加上获得的阻尼平衡机构，改善了机器的动态特性，并加强了Z轴的安全保障。
3. 整体燕尾型导轨
一体式燕尾形导轨，提高了整机的运行精度。
4. 活动桥式结构
*的活动桥式结构，提供了更开敞的测量空间。
5. 高精密气浮系统
各轴采用预载荷空气轴承，消除摩擦力和运行磨损对机器造成的影响，并对现场灰尘不敏感。
6. 标准工艺流程
厚重稳固的整体花岗石工作台减少了振动带来的影响，台面平面度符合DIN876标准。
7. 驱动电机远程放置
电机远程放置减少了移动质量,提高了速度，也避免了电机发热对机器性能带来的影响。
8. 高精密三角梁技术
精密三角梁TM(TRICISIONTM)式横梁设计,降低了重心，同时比等宽度轴承跨距的其他形式横梁的重量轻。
