气动隔振系统AP-MKH系列
高性能低频固有频率单元型隔振器，可用于有运动质量的设备
AP-MKH系列是Meiritz在无源单元型隔振器中的产品，具有改善的隔离性能和各种有用的功能。
业务领域
用于测量
对于半导体
规格
- 主な仕様
| 模型 | AP-230MKH | AP-270MKH | AP-330MKH |
|---|---|---|---|
| 固有频率 | 垂直：1.5〜2.0Hz /水平：0.7〜1.0Hz | ||
| 隔振 方法 | 空气悬架 | ||
| 阻尼方式 | 孔板倾倒 | ||
| 调平方法 | 自动找平科研空气阀 （定位公差：±100μm） | ||
| 尺寸 （宽×深×高mm） | 320×320×325 | 320x320x325 | 370×370×325 |
| 质量（kg /单位） | 54 | 64 | 81 |
| 有效载荷（kg / 4units） | 6200 | 8600 | 13000 |
| 轴B（mm） | 290x290 | 290x290 | 340x340 |
| ΦC（毫米） | 13 | 13 | 13 |
| 供给气压（MPa） | 0.5MPa （气源：通过空气压缩机压缩的空气， 释放工厂的空气或液氮气体的管道） | ||
