型号:DCM
品牌：日本UNION
可提供的物镜放大倍数(5X, 10X, 20X, 40X), DCM-40/60 适用于各种材料的测量。
DCM-40 测量晶圆的厚度为4英寸。
DCM-60 测量晶圆的厚度为6英寸。
测量方法 :
A 将开关旋钮调至Top & Bottom档,将光学轴的顶部和底部调整至校正图标上重合。
B 将晶片放在工作台上,将光轴转换按钮调至TOP位置。镜头将聚焦于晶片顶部的表面。
C 将光轴转换按钮调至Bottom位置,镜头将聚焦于晶片底端的表面。
D 将光轴转换按钮调至Top & Bottom位置,看看两部分是否*重合,确定错位的距离,若有的话,用物镜的十字线去标识然后计数器去测量。
主要特点：
1)光轴的上下部很容易对齐。.
2)DCM-40/60 有各种型号的工作台。.
3)配有CCD作为视图工具。 可以通过显示器观察样品和拍照。(有两种CCD可供选择，同时CCD的适配器也可供选择。)
4)可以观察顶部或者底部的单一面
规格：
| DCM-60 | DCM-40 | ||
| 物镜 | 总放大倍率 [50X] [100X] [200X] [400X] 顶部 PLM5X PLM10X PLLWDM20X PLLWDM40X 底部 PLM5X PLM10X PLLWDM20X PLLWDM40X | ||
| 目镜 | SUW10X目镜一对（包含十字线） | SUW10X目镜一对（包含十字线） | |
| 总放大倍率 | 50X-400X（不同的倍率可供选择） | ||
| 顶部聚焦行程 | 24mm | 30mm | |
| 底部聚焦行程 | 3mm | 12mm | |
| 光源 | 顶部：绿光 底部：红光 | ||
| 工作台&读数器 | 150mm x 150mm KC-12R读数器（显示精度0.1um） | 50mm x 50mm/100mm x 100mm KC-12R读数器（显示精度0.1um） | |
| 工作台行程 | X：150mm Y:150mm | X:50mm Y:50mm/X:100mmY：100mm | |
| Wafer放置盘 | ：6 inch | ：4 inch | |
| 可以根据客户需求对尺寸进行设计更改 | |||
| 工作台旋转角度 | 360° | ||
| 灯箱 | 150W卤素灯箱 | ||
| 可量测金属厚度 | 20mm以下 | 30mm以下 | |
适用范围：
重叠的通孔
重叠的电极片
